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Aufbau eines Detektorteleskops für ERDA-Messungen und erste Anwendungen auf dünne Schichten Rutilius Taurus Aemilianus die Entwicklung des InternetInhaltsangabe: Problemstellung: In der vorliegenden Arbeit wird der Aufbau einer ERDA Detektoranlage zur Bestimmung tiefenaufgelster Konzentrationsprofile dnner Schichten beschrieben. Die Anlage wurde in zahlreichen Messungen mit Schwerionenstrahlen und Spaltfragmentquellen getestet. ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis) ist eine kernphysikalische Untersuchungsmethode, die auf der elastischen Streuung schwerer Ionen mit den Atomen einer dnnen
